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爱德华Edwards真空泵iXH100半导体干泵AC010A121000
爱德华Edwards真空泵iXH100半导体干泵AC010A121000

爱德华Edwards真空泵iXH100半导体干泵AC010A121000

上架时间:2024-01-11
浏览次数:269
产品类型:螺杆干泵
产品型号:爱德华Edwards真空泵iXH100
适用电压:220V
参考价格:¥210000
产品详情


爱德华Edwards真空泵iXH100半导体干泵AC010A121000

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Edwards iXH 100 是专为环保而设计的全新干泵系列 苛刻的化学过程的制造和加工。使用非常低的能量,高效的根机制具有 经过开发,可大幅降低输入功率至 1.3 kW,比上一代干式低 60% 泵,减少对环境的影响并降低成本 所有权。 气体阻隔技术和热设计改进 耐腐蚀性是 iH 系列的 4 倍 产品。先进的粉末处理功能意味着 iXH 将提供最大的可靠性和更长的泵寿命 多层蚀刻工艺,降低功耗 用于 CVD 工艺,尤其是使用刺激性化学品。

Edwards iXH 100 系列泵结构紧凑,重量轻,结合 极低的噪音和振动,使 iXH Edwards 系列中用途最广泛的化学干泵。iXH 将 改变您对干式真空泵技术的期望, 以最小的速度提供真正的好处并延长正常运行时间 环境影响。iXH 泵设计用于大多数半导体 处理,同时显着降低输入功率。该型号没有增压鼓风机泵以增加性能。有关完整的说明手册,请参阅下载。

接口图

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特点和优点:


应用:

性能参数

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抽速曲线

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