真空泵抽速不够怎么办？十几年维修经验给你捋清楚排查思路

上个月我去光伏行业一个客户现场处理故障，一台用了两年的鲍斯干式螺杆真空泵，抽速一直达不到拉晶工序要求，真空度上不去，每天都出好几炉废品，厂家售后已经来换了易损件还是没解决，现场主管急得找不到头绪。很多人遇到抽速不够，第一反应就是泵坏了要换，其实十几年修下来我发现，抽速不够的原因五花八门，不一定是泵本身的质量问题。先从原理说清楚：抽速就是真空泵在单位时间内能抽走的气体体积，标称抽速是泵入口在特定进口压力下测得的数值，实际使用中如果抽速不够，本质就是实际抽走气体的能力达不到你的工艺要求，我们只要按步骤一步步排查，大部分问题都能找到根源。

先排查系统漏率，这是最常见的原因

我敢说，80%以上抽速不够的故障，问题出在真空系统，不是出在真空泵本身。真空系统是靠密封获得低于大气压的环境，如果有漏点，外界大气不断漏进系统，真空泵需要不停抽走漏进来的空气，自然就没有多余的能力抽走系统里原有的气体，表现出来就是抽速不够，真空度升不上去。

很多刚入行的工程师一上来就拆泵，折腾大半天最后发现是法兰密封圈老化漏了，白费功夫。正确的漏率排查方法很简单：先把真空泵和真空腔之间的阀门关上，给系统保压，观察10到30分钟，如果真空度的上升幅度超过了你的工艺允许范围，就说明系统存在漏点。找漏点可以用丙酮或者乙醇喷在焊缝、法兰接头、动密封这些位置，如果喷上去之后真空度突然变好了一点，就说明这个位置就是漏点，处理就行。

我之前遇到半导体车间一台莱宝油旋片泵抽速不够，保压测试发现漏率超标，查了一圈最后发现是观察窗的密封圈年久老化，有一条细裂纹，换了个几十块钱的密封圈，抽速立刻恢复正常，比换泵省了几万块。

再排查泵本身的磨损和维护问题

排除了系统漏，接下来就要看泵本身的状态了，不同结构的泵，问题点不一样。

对于油式真空泵（比如油旋片泵、油增压泵）来说，最常见的就是泵油污染变质。泵油在泵里面既要起到润滑，还要起到密封间隙的作用，如果泵油被可凝性蒸汽污染，粘度下降，密封能力就会变差，内漏增加，抽速自然就掉了。这种情况换一瓶合格的真空泵油，多半就能解决问题。如果换油之后抽速还是不够，那就要考虑内部零件磨损了，比如油旋片泵的旋片和泵腔磨损，配合间隙从正常的0.01~0.05mm磨到超过0.1mm，抽速能下降15%以上，这种情况就需要更换旋片甚至泵腔了。

对于干式真空泵（比如干式螺杆泵、爪式泵）来说，最常见的问题是转子积灰或者转子间隙磨损。像光伏、半导体行业，被抽气体里经常含有粉尘、颗粒物，时间长了就会附着在转子表面，不仅会增大转子转动阻力，降低实际转速，还会改变转子间隙，导致内漏增加，抽速下降。另外，干式螺杆泵的同步齿轮磨损后，转子之间的啮合间隙变大，也会导致抽速持续下降。我上次处理的那台光伏现场的螺杆泵，最后就是拆开清理了转子上的硅粉尘，调整了同步齿轮间隙，抽速就恢复到了标称值，根本不用换零件。

排查是否是选型或系统设计的问题

还有一种情况，就是从一开始泵就没选对，属于假性抽速不够，不是泵坏了，是泵根本满足不了工艺要求。很多用户选型的时候有个误区，只看极限真空度，不看工作点的抽速。比如你的工艺是真空镀膜，工作压力要求维持在1Pa，需要抽速150L/s，结果选了一台极限真空能到0.1Pa，但在1Pa工作点下实际抽速只有80L/s，那抽速肯定不够，这种情况不管怎么修泵都没用，只能换泵或者再加一台泵。

还有一种系统设计的问题，就是入口管路选型不对。很多设计人员只看泵口直径，直接配同直径的管路，忽略了管路长度和阻力的影响。如果管路太细太长，弯头还多，气体流动阻力就会变大，泵入口实际抽速会比标称抽速低30%以上，到了真空腔的抽速自然满足不了要求。另外，入口过滤器堵塞也是很常见的管路问题，很多粉尘多的工况，过滤器半年不换，堵得差不多了，抽速自然上不去。

标准排查步骤整理

遇到抽速不够，按这个顺序一步步来，少走弯路：

• 先做系统保压测试，确认系统漏率是否合格，不合格就找漏点处理漏点
• 检查真空系统的入口阀门、过滤器，确认阀门全开，过滤器没有堵塞，堵塞就更换过滤器
• 油式泵先更换合格的真空泵油，测试抽速，不行再拆解检查内部磨损情况
• 干式泵先清理入口过滤器和转子积灰，检查转子间隙、同步齿轮间隙，磨损超差就调整或更换零件
• 如果泵本身状态没问题，就拿泵的性能曲线对照实际工作点的抽速要求，确认选型是否满足，不满足就重新选型更换

做真空行业这么久，我发现大部分抽速不够的故障，都出在日常维护不到位，或者系统设计初期就没做好核算。苏州嘉科在给客户做选型方案的时候，都会针对不同工况做抽速核算和管路阻力计算，从源头避免这类问题，有兴趣可以看看www.nvsvs.com。其实抽速不够不一定就是泵的质量问题，按步骤排查，很多小问题就能解决，不用动辄换泵，能省不少成本。