鲍斯涡旋干泵IDSP36真空泵在真空检漏和He质谱检漏方面的应用

鲍斯真空泵涡旋干泵IDSP36是一种高新技术产品，具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点[1]。该产品在真空检漏和He质谱检漏方面有着广泛的应用。

涡旋干泵IDSP36的特点和应用领域

涡旋干泵IDSP36是一种无油机械泵，具有结构简单、密封性能好、极限真空高等优点[2]。它在以下领域得到广泛应用：

• 普通清洁真空获得应用

• 分子泵前级泵

• 实验室真空系统

• 分析仪器

• 真空检漏/He质谱检漏

• 光束线/高能物理

• 科学研究

• 临床医疗设备

• 蒸馏/萃取/过滤

• 激光

• 气体回收和再循环

• 半导体（LED/LCD长晶炉）

• 光伏（单晶炉/多晶炉)

• 镀膜（PVD/CVD)

• 工业/电池生产

• 手套箱/排气台

• 电子束焊接/激光焊接[2][3]

干式真空泵的优点

干式真空泵相比其他真空泵有以下优点：

1. 使用地点不受控制，不需要特定场所进行抽真空工作，常用于需要整洁的实验室中。

2. 没有污染，不使用水，也不产生油雾，对环保有帮助。

3. 功率小、噪音低、能耗小，体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便[4]。

结论

鲍斯真空泵涡旋干泵IDSP36作为一种高性能的涡旋干泵，在真空检漏和He质谱检漏方面具有广泛的应用，尤其在实验室、科学研究和半导体等领域有着重要作用。

• [1].涡旋干泵 - 鲍斯真空事业群

• [2].鲍斯涡旋干泵IDSP36 - 苏州嘉科真空设备有限公司

• [3].鲍斯涡旋干泵GSP6 - 苏州嘉科真空设备有限公司

• [4].氦质谱检漏仪真空泵干式与油泵的区别-诺益科技 - 知乎专栏

• [5].[PDF] ZQJ-530(G)氦质谱检漏仪使用说明书