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Edwards nEXT 400D分子泵
Edwards nEXT 400D分子泵

Edwards nEXT 400D分子泵

上架时间:2023-10-25
浏览次数:120
产品类型:涡轮分子泵
产品型号:nEXT 400d
适用电压:
参考价格:¥180000
产品详情

Edwards nEXT 400D分子泵是一款复合分子泵,它结合了磁悬浮轴承与陶瓷轴承的使用。这款分子泵有ISO160和CF160两种入口法兰接口,对N2的抽速为400l/s。它采用了Edwards的成熟轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承[1][2][3]。

nEXT 400D分子泵的转子设计经过改进,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比[1][2][3]。此外,这款分子泵真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容[1][2][3]。

该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长[1][2][3]。基本的分子泵系统通常由nEXT400泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成[1][2][3]。

nEXT B83200400泵具有一个净化口:可以引入惰性净化气体以保护轴承和电机免受腐蚀。还有一个可选的通风口适配器[4]。Edwards nEXT400D涡轮分子高真空泵具有ISO-K 160入口法兰,抽气速度为每秒400升(l/s)[5]。

nEXT400 涡轮分子泵


nEXT400分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO160和CF160两种入口法兰接口,对N2的抽速为400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。

基本的分子泵系统通常由nEXT400泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。



性能曲线




几何尺寸




技术指标

入口法兰DN160ISO-K,DN160CF
出口法兰KF25
抽速
N2400l/s
He390l/s
H2325l/s
压缩比(D/T)
N2>1×1011
He1×108/1×108
H25×105/1×106
极限真空(ISO/CF,RV前级泵)<6×10-8/<5×10-10 mbar
前级真空要求(D/T)10/20 mbar
推荐前级泵*RV12/nXDS10i
放气口/吹扫口1/8英寸BSP母螺纹
重量(D/T)6.5/6.8kg,9.5/9.8kg
最大连续入口流量(氮气)†
水冷105sccm(水温15°C,环境温度40°C)
空冷90sccm(环境温度35°C)
泵转速
标称转速60000rpm
待机转速33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm)
功率范围50~200W可调 (缺省160W)
90%启动时间(D/T)175s/200s(160W)
模拟输出泵转速、功耗、泵温度、控制温度
冷却方式空冷/水冷(单独订购)
空冷环境温度5~35°C
最小水冷流速15l/ h(15°C的水)
水温范围10~20°C
入口法兰最高温度70°C
工作姿态垂直、水平(±2°)
噪声(1m处)<45±3 dB(A)
最大耐受磁场5mT
推荐控制器TIC200涡轮仪表控制器
稳态功耗20W

订货信息

货号描述
B83200300nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,160W
B83200301nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,80W
B83200400nEXT400D涡轮分子泵:CF100,160W
B83200401nEXT400D涡轮分子泵:CF100,80W
B83300300nEXT400T涡轮分子泵:HC,ISO100,160W
B83300301nEXT300T涡轮分子泵:HC,ISO100,80W
B83300400nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,160W
B83300401nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,80W
D39722000TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232
B58053175nEXT径向风扇
B58053170nEXT径向风扇,带泵驱动接头
B80000815nEXT 水冷组件
B80000812油盒工具组件
B80000805轴承工具组件
B80000811油盒
B80000810轴承和油盒


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