Edwards iXH 610 是一款新型干式真空泵，专为绿色制造和苛刻化学工艺而设计。其主要特点和优点包括：
适用于 HARSH 化学应用
峰值抽速为 665 m³/h（391 CFM）
极限压力为 3.7 x 10⁻³ Torr
无需预防性维护
3/8 英寸快速连接注水
水和电力连接配对半
SS水冷系统
多模式 44 slm 气体模块
iXH 610 系列泵具有紧凑的结构、轻量化设计、极低的噪音和振动，使其成为 Edwards 系列中应用最广泛的化学干泵。iXH 泵可为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性，延长泵的使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗，尤其是在使用 HARSH 化学品的情况下。iXH 泵适用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率[3]。
在维修方面，Edwards iXH 系列干泵的维修服务包括专业销售维修、拆解教程、图解和说明文档PDF下载等。维修服务涵盖了多种品牌，如法国阿尔卡特（Alcatel Adixen）、英国爱德华（Edwards）、德国莱宝（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德国西赫（SIHIdry）、贝克（BECKER）、科威尔（KOWEL）和里其乐（RIETSCHLE）等[3]。
