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爱德华EDWARDS半导体真空泵iXH 610 干式泵
爱德华EDWARDS半导体真空泵iXH 610 干式泵

爱德华EDWARDS半导体真空泵iXH 610 干式泵

上架时间:2023-10-30
浏览次数:432
产品类型:螺杆干泵
产品型号:EDWARDS爱德华iXH610
适用电压:380V
参考价格:¥250000
产品详情




Edwards iXH 610 是一款新型干式真空泵,专为绿色制造和苛刻化学工艺而设计。其主要特点和优点包括:

iXH 610 系列泵具有紧凑的结构、轻量化设计、极低的噪音和振动,使其成为 Edwards 系列中应用最广泛的化学干泵。iXH 泵可为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性,延长泵的使用寿命,并降低 CVD 工艺的功耗,尤其是在使用 HARSH 化学品的情况下。iXH 泵适用于大多数半导体工艺,同时显著降低输入功率[3]。

在维修方面,Edwards iXH 系列干泵的维修服务包括专业销售维修、拆解教程、图解和说明文档PDF下载等。维修服务涵盖了多种品牌,如法国阿尔卡特(Alcatel Adixen)、英国爱德华(Edwards)、德国莱宝(Oerlikon Leybold)、普旭(BUSCH)、德国西赫(SIHIdry)、贝克(BECKER)、科威尔(KOWEL)和里其乐(RIETSCHLE)等[3]。



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